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申请/专利权人:住友大阪水泥株式会社
摘要:本发明的目的在于提供一种抑制过蚀刻的进展,防止驱动电压的增加或电极剥离的光调制器。本发明的光调制器包括形成有光波导10的基板1、以及在所述基板上接近所述光波导而配置的电极2,在所述基板1与所述电极2之间具有电极基底层3,所述光调制器的特征在于,在俯视所述基板时的从接近所述光波导的所述电极2的端部进入所述电极的内侧的规定的范围S2中,在所述基板1的表面侧形成有凹凸5。
主权项:1.一种光调制器,包括形成有光波导的基板、以及在所述基板上接近所述光波导而配置的电极,在所述基板与所述电极之间具有电极基底层,所述光调制器的特征在于,在俯视所述基板时的从接近所述光波导的所述电极的端部进入所述电极的内侧的规定的范围中,在所述基板的表面侧形成有凹凸。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 住友大阪水泥株式会社 光调制器及使用所述光调制器的光发送装置
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