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申请/专利权人：重庆大学
摘要：本发明提供了一种镁合金的低温聚焦离子束FIB样品制备方法，专为解决传统技术在制备过程中导致的样品损伤和变形问题，满足高精度透射电镜TEM分析的需求。该方法采用创新的温度控制技术，保持样品在极低温度，避免热变形。优化的离子束参数和实时成像反馈系统确保了加工过程的精确监控，减少损伤并提升样品质量。多级减薄技术和环境控制进一步提高了样品表面质量，增强了TEM分析的适用性和准确性，为镁合金微观结构研究提供了高效样品制备技术。
主权项：1.一种用于镁合金的低温聚焦离子束FIB样品制备方法，其特征在于结合超低温环境与精确的离子束控制，具体包括：a.利用液氦或液氮作为冷却介质，通过高精度温度控制系统将镁合金样品温度精确降至-175℃±5℃，以最大程度减少热诱导的样品损伤；b.离子束能量设置为5keV至15keV，束流控制在50pA至500pA，扫描速度为0.5mms至5mms，以适应镁合金的物理特性并减少加工损伤；c.采用特殊的样品固定装置，确保样品在超低温条件下的稳定性和加工过程中的精确对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆大学 一种用于镁合金的低温聚焦离子束（FIB）样品制备方法
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