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申请/专利权人：无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司
摘要：本发明公开了灯管加热的密封结构、灯管加热装置及半导体加工设备，该灯管加热的密封结构包括：腔体，设置有凸起部，凸起部设置有安装孔，安装孔包括相邻设置且内径递增的第一内孔和第二内孔；套管，设置于第一内孔；灯管，套管套设于灯管的外周侧，使得灯管位于套管的内腔中；密封件，设置于第二内孔；压套，将密封件压装于压套、套管与凸起部之间，腔体、压套设置有连通的第二冷却风道；第一冷却风道，内腔为第一冷却风道的一部分，且与第二冷却风道连通。本发明既能确保密封结构实现有效的真空密封，又能使密封件位置处的温度在其可承受范围内，能够对密封件进行有效的降温散热，保护密封件不被高温损伤，提高其使用寿命。
主权项：1.灯管加热的密封结构，其特征在于，包括：腔体（1），设置有凸起部（2），所述凸起部（2）设置有安装孔（21），所述安装孔（21）包括相邻设置且内径递增的第一内孔（211）和第二内孔（212）；套管（4），设置于所述第一内孔（211）；灯管（6），所述套管（4）套设于所述灯管（6）的外周侧，使得所述灯管（6）位于所述套管（4）的内腔（41）中；密封件（5），设置于所述第二内孔（212）；压套（7），将所述密封件（5）压装于所述压套（7）、所述套管（4）与所述凸起部（2）之间，所述腔体（1）、所述压套（7）设置有连通的第二冷却风道（9）；第一冷却风道（22），所述内腔（41）为所述第一冷却风道（22）的一部分，且与所述第二冷却风道（9）连通；所述套管（4）靠近所述密封件（5）的内壁设置有热辐射屏蔽涂层（10）；所述第二冷却风道（9）包括设置于所述腔体（1）和或所述凸起部（2）的第一通道（91）、设置于所述压套（7）的第二通道（92），所述第一通道（91）、所述第二通道（92）以及所述内腔（41）连通，所述第一通道（91）连通有用于进气的进气孔（11）。
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