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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：提供了一种器件对准装置，属于光学技术领域。该器件对准装置包括基台、第一多自由度位移台、第二多自由度位移台、第一光学传感器和第二光学传感器。其中，第一多自由度位移台固定于基台，第一多自由度位移台用于固定并带动第一器件运动；第二多自由度位移台固定于基台，第二多自由度位移台用于固定并带动第二器件运动；第一光学传感器固定于第一多自由度位移台，第一光学传感器用于检测第二器件的耦合面的位姿；第二光学传感器固定于第二多自由度位移台，第二光学传感器用于检测第一器件的耦合面的位姿。由于第一光学传感器和第二光学传感器能够直接检测耦合面，因此能够更准确地确定出出光口或入光口的位置，从而提高对准精度。
主权项：1.一种器件对准装置，其特征在于，包括：基台30；第一多自由度位移台41，固定于所述基台30，用于固定并带动第一器件21运动；第二多自由度位移台42，固定于所述基台30，用于固定并带动第二器件22运动；第一光学传感器51，固定于所述第一多自由度位移台41，用于检测所述第二器件22的耦合面的位姿；第二光学传感器52，固定于所述第二多自由度位移台42，用于检测所述第一器件21的耦合面的位姿。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 器件对准装置和器件对准方法
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