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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要：本发明涉及光栅制造技术领域，尤其涉及一种光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法，在控制系统中设定最小加工速度、最大加工速度以及刀架系统和分度系统在分度方向上的目标相对误差；控制系统根据最小加工速度和最大加工速度控制分度系统和刻划系统对待加工光栅进行加工，得到不同加工速度下刀架系统和分度系统在分度方向上的实际相对误差，对实际相对误差和目标相对误差进行比较，并根据比较结果采用二分法循环迭代确定最后的加工速度，在保证刻划过程中仪器相对稳定的同时提升确定加工速度的准确性。

主权项：1.一种光栅刻划机相对最优初始状态自动优化方法，其特征在于：具体包括以下步骤：S1：将刀架系统安装在分度系统上，待加工光栅安装在垂直于所述分度系统的运动方向的刻划系统上，偏差测量系统安装在所述分度系统和所述刻划系统上；所述控制系统分别与所述分度系统、所述刻划系统与所述偏差测量系统连接；S2：在所述控制系统中设定对所述待加工光栅加工的最小加工速度和最大加工速度，以及所述刀架系统和所述分度系统在所述分度系统的运动方向上的目标相对误差；S3：所述控制系统根据所述最小加工速度控制所述分度系统和所述刻划系统对所述待加工光栅进行加工，并通过所述偏差测量系统得到在所述最小加工速度下对应的所述刀架系统和所述分度系统在所述分度系统的运动方向上的实际相对误差；S4：以所述最大加工速度替换所述最小加工速度，并重复所述步骤S3，得到在所述最大加工速度下对应的所述刀架系统和所述分度系统在所述分度系统的运动方向上的实际相对误差；S5：所述控制系统将当前两个实际相对误差与所述目标相对误差进行比较：若两个实际相对误差中的最小值小于等于所述目标相对误差，所述最小值对应的加工速度即为目标加工速度，并停止对所述待加工光栅进行加工；若两个实际相对误差中的最小值大于所述目标相对误差，计算两个实际相对误差对应的加工速度的平均速度，以所述平均速度替换当前两个实际相对误差中的最大值对应的加工速度，再重复所述步骤S3计算所述平均速度对应的实际相对误差；S6：将所述最小值和所述平均速度的实际相对误差与所述目标相对误差进行比较，并重复所述步骤S5，直至当前两个实际相对误差中的最小值小于等于所述目标相对误差，此时的最小值对应的加工速度即为目标加工速度。

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