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申请/专利权人：株式会社德山
摘要：本发明的保护结构体能够确认硅棒的翻倒状况并进行反应器的打开作业。保护结构体200包括：第一框体201，具有包围容纳硅棒110的反应器100的底板101周围的形状；及保护壁面204，从第一框体201向竖直上方延伸，形成硅棒110的容纳空间210，且保护壁面204具有网状结构。
主权项：1.一种硅棒的保护结构体，其特征在于，包括：第一框体，具有包围容纳硅棒的反应器的底板周围的形状；及保护壁面，从所述第一框体向竖直上方延伸，形成所述硅棒的容纳空间，且所述保护壁面具有大小为2～10目的网状结构，所述保护结构体进一步包括保护板，所述保护板设置在所述第一框体与所述反应器的所述底板之间，并且所述保护板具有以包围所述底板的周围的方式延伸且沿着水平方向扩展的平面，所述底板具有以包围所述底板的周围的方式设置的底板侧法兰，所述反应器包括所述底板以及盖，所述盖具有以包围所述盖的周围的方式设置的盖侧法兰，以及所述第一框体形成的圆具有的直径比所述底板侧法兰以及所述盖侧法兰的外径大300mm至600mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社德山 硅棒的保护结构体及硅棒的制造方法
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