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申请/专利权人：无锡互创芯微半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种静电吸盘的加热机构，属于静电吸盘技术领域，包括底座，所述底座的上表面固定安装有固定板和固定座，所述固定板上固定安装有气缸，所述气缸的活塞杆端部固定安装有盖板，所述盖板的侧面固定安装有安装壳，所述安装壳的侧面固定安装有固定承托板，所述安装壳的侧面活动设置有两个活动卡板，两个所述活动卡板位于固定承托板的两侧；通过设置气缸配合盖板、加热筒体和螺旋加热丝使用，利用气缸驱使盖板向加热筒体靠近并贴合，利用螺旋加热丝进行全方位加热，对于静电吸盘的加热效果较为均匀，受热度良好，保证良好的加热效果，且利用固定卡板配合活动卡板使用，实现静电吸盘的稳定卡紧固定，提升使用效果。
主权项：1.一种静电吸盘的加热机构，其特征在于：包括底座1，所述底座1的上表面固定安装有固定板2和固定座8，所述固定板2上固定安装有气缸3，所述气缸3的活塞杆端部固定安装有盖板4，所述盖板4的侧面固定安装有安装壳5，所述安装壳5的侧面固定安装有固定承托板6，所述安装壳5的侧面活动设置有两个活动卡板7，两个所述活动卡板7位于固定承托板6的两侧，所述固定座8上固定安装有加热筒体9，所述加热筒体9与盖板4配合使用，所述加热筒体9内壁固定安装有螺旋加热丝10以及防护筒11，所述防护筒11与加热筒体9之间形成防护区间，所述螺旋加热丝10位于防护区间内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡互创芯微半导体科技有限公司 一种静电吸盘的加热机构
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