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申请/专利权人：株式会社尼康
摘要：本发明的矫正装置具备：载置装置，其载置晶片；加热部，对载置于载置装置的晶片进行加热；力施加部，对载置于载置装置的晶片施加力；第一传送装置，传送自载置装置取下的晶片；及控制部，对加热部及力施加部进行控制，控制部一边借由加热部对晶片进行加热，一边借由力施加部向晶片施加力，而进行晶片的形状矫正，第一传送装置传送已进行形状矫正的晶片。
主权项：1.一种矫正装置，具备：载置装置，载置晶片；加热部，对载置于上述载置装置的上述晶片进行加热；力施加部，对载置于上述载置装置的上述晶片施加力；第一传送装置，传送自上述载置装置取下的上述晶片；及控制部，控制上述加热部及上述力施加部，上述控制部一边借由上述加热部对上述晶片进行加热，一边借由上述力施加部向上述晶片施加力，而进行上述晶片的形状矫正，上述第一传送装置传送已进行上述形状矫正的上述晶片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社尼康 矫正装置、曝光装置、涂布显影装置、曝光系统、曝光方法、及元件制造方法
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