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申请/专利权人：浙江睿熙科技有限公司
摘要：本申请属于半导体技术领域，具体为一种电流分布均匀的VCSEL激光器，包括发光单元，所述发光单元包括电流限制层，为VCSEL激光器提供光学和电学限制，该电流限制层上具有供电流和激光通过的发光孔；第二布拉格反射镜，位于所述有源区远离第一布拉格反射镜的一侧；其中，所述第二布拉格反射镜上具有阻挡电流的电学限制层，所述电学限制层上具有供电流通过的导电区，其中所述导电区的横截面大于所述发光孔的横截面，电流依次经导电区、出光孔后进入所述有源区内。电荷运动路径被调整，舒缓电流拥挤，减少电流密度,以及能降低第二电极与第二布拉格反射镜接面处的电阻常数,降低电阻及改善电压降。
主权项：1.一种电流分布均匀的VCSEL激光器，其中，包括至少一个发光单元，所述发光单元包括衬底层，具有顶表面和底表面；第一布拉格反射镜，位于所述衬底层的顶表面上；有源区，位于所述第一布拉格反射镜远离所述衬底层的一侧；电流限制层，为VCSEL激光器提供光学和电学限制，该电流限制层上具有供电流和激光通过的发光孔；第二布拉格反射镜，位于所述有源区远离第一布拉格反射镜的一侧；其中，所述第二布拉格反射镜上具有阻挡电流的电学限制层，所述电学限制层上具有供电流通过的导电区，其中所述导电区的横截面大于所述发光孔的横截面，电流依次经导电区、出光孔后进入所述有源区内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江睿熙科技有限公司 电流分布均匀的VCSEL激光器、制备方法及激光设备
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