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申请/专利权人：上海广川科技有限公司
摘要：本发明公开了一种耐高温的晶圆在位检测装置，其特征在于，包括末端手指和末端手臂；所述末端手臂的一端固定在机械臂中，另一端固定连接末端手指；所述末端手指的表面设置有晶圆放置位；所述末端手指内部设置有检测组件，所述检测组件的末端设置有导光孔，且所述导光孔位于所述晶圆放置位所在的表面。本发明提供的一种耐高温的晶圆在位检测装置及方法，将检测组件内置于末端手指内部，并通过导光孔将检测组件的信号引出，使得现有的检测组件能够适用于高温工艺，提高了高温工艺下晶圆在位检测的效率。
主权项：1.一种耐高温的晶圆在位检测装置，其特征在于，包括末端手指2和末端手臂3；所述末端手臂3的一端固定在机械臂中，另一端固定连接末端手指2；所述末端手指2的表面设置有晶圆放置位；所述末端手指2内部设置有检测组件，所述检测组件的末端设置有导光孔，且所述导光孔位于所述晶圆放置位所在的表面；所述导光孔包括发射导光孔14和接收导光孔15，所述发射导光孔14和接收导光孔15自末端手指2内部至末端手指2表面倾斜设置，且当晶圆16位于晶圆放置位时，所述发射导光孔14和接收导光孔15的出口朝向晶圆16的同一位置倾斜设置；所述检测组件还包括位于末端手指2内部的发射导光槽10和接收导光槽11，所述发射导光孔14位于所述发射导光槽10的末端，所述发射导光槽10远离发射导光孔14的一侧设置有发射传感器；所述接收导光孔15位于所述接收导光槽11的末端，所述接收导光槽11远离接收导光孔15的一侧设置有接收传感器；所述发射传感器和接收传感器集成在末端手臂中，所述末端手指和末端手臂之间设置有隔热件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海广川科技有限公司 一种耐高温的晶圆在位检测装置及方法
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