龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆键合领域，公开了一种晶圆键合定位组件以及晶圆键合设备，该晶圆键合定位组件包括：包括外环托盘和内环托盘的托盘；承载晶圆的卡盘；卡盘的表面设置有定位标识；识别晶圆上的晶圆标识的第一识别装置；识别定位标识在平行于卡盘所在平面内，沿设定方向上的第一位置数据，垂直于设定方向上的第二位置数据以及在定位标识所在平面内旋转的角度数据的第二识别装置，设定方向为托盘的可移动方向；外环托盘和内环托盘之间设置有微调装置，用于根据位置数据对外环托盘和内环托盘之间的相对位置进行调节。本申请中可以在更多维度对晶圆位置进行更精细的调节，保证晶圆之间对位的精度，进而提高晶圆键合的精准度。
主权项：1.一种晶圆键合定位组件，其特征在于，包括：托盘，所述托盘包括外环托盘和设置在所述外环托盘内部的内环托盘；设置在所述内环托盘上，用于承载晶圆的卡盘；所述卡盘背离承载所述晶圆一侧的表面设置有定位标识；设置在所述卡盘承载晶圆的一侧，用于识别所述卡盘上承载的晶圆上的晶圆标识的第一识别装置；用于识别所述定位标识的位置数据的第二识别装置，所述位置数据包括所述定位标识在平行于所述卡盘所在平面内，沿设定方向上的第一位置数据，垂直于所述设定方向上的第二位置数据以及在所述定位标识所在平面内旋转的角度数据；所述设定方向为所述托盘的可移动方向；其中，所述外环托盘和所述内环托盘之间设置有微调装置，用于根据所述位置数据对所述外环托盘和所述内环托盘之间的相对位置进行调节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种晶圆键合定位组件和晶圆键合设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号