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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种太阳能电池制备方法、太阳能电池及光伏组件，涉及太阳能电池技术领域，太阳能电池制备方法包括：将硅片以第一位置放置，依次形成隧穿氧化层和本征非晶硅层，在第一位置下，硅片相对水平面的夹度为α；将硅片以第二位置放置，对本征非晶硅层进行扩散掺杂形成掺杂多晶硅层以及玻璃层，在第二位置下，硅片相对水平面的夹度为β，α小于β。在形成本征非晶硅层工艺中硅片的放置更趋近于炉管的气流流动方向，利于抽出本征非晶硅层的副产物，提高本征非晶硅层成膜质量。而在扩散掺杂工艺中硅片的放置更趋近于垂直气流流动方向，以使氧化过程中的O2在表面停留时间更长，增加玻璃层的致密性，显著增强了玻璃层的耐碱腐蚀性能。
主权项：1.一种太阳能电池制备方法，其特征在于，包括：将硅片以第一位置放置，依次形成隧穿氧化层和本征非晶硅层；在所述第一位置下，所述硅片相对水平面的夹角为α；将所述硅片以第二位置放置，对所述本征非晶硅层进行扩散形成掺杂多晶硅层以及玻璃层；在所述第二位置下，所述硅片相对水平面的夹角为β；其中，α小于β；去除部分所述玻璃层，并以剩余所述玻璃层作为掩膜，利用腐蚀液去除未被所述玻璃层覆盖的所述掺杂多晶硅层。
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权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种太阳能电池制备方法、太阳能电池及光伏组件
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