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一种改善栅极电场的碳化硅场效应管器件 

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申请/专利权人:强华时代(成都)科技有限公司

摘要:本发明公开了一种改善栅极电场的碳化硅场效应管器件,属于半导体器件技术领域,包括多层JFET区域模块;所述多层JFET区域模块包括从下到上依次堆叠的第一JFET区域层、第二JFET区域层和第三JFET区域层;所述第一JFET区域层的宽度和第三JFET区域层的宽度均大于第二JFET区域层的宽度;所述第一JFET区域层、第二JFET区域层和第三JFET区域层均为n型掺杂区域;所述第一JFET区域层和第二JFET区域层的n型掺杂浓度均大于第三JFET区域层的n型掺杂浓度;所述第二JFET区域层的n型掺杂浓度大于第一JFET区域层的n型掺杂浓度。本发明解决了碳化硅场效应管器件长期使用可靠性不足的问题。

主权项:1.一种改善栅极电场的碳化硅场效应管器件,其特征在于,包括多层JFET区域模块;所述多层JFET区域模块包括从下到上依次堆叠的第一JFET区域层4、第二JFET区域层5和第三JFET区域层6;所述第一JFET区域层4、第二JFET区域层5和第三JFET区域层6均关于同一中心轴线水平对称,且所述第一JFET区域层4的宽度和第三JFET区域层6的宽度均大于第二JFET区域层5的宽度;所述第一JFET区域层4、第二JFET区域层5和第三JFET区域层6均为n型掺杂区域;所述第一JFET区域层4和第二JFET区域层5的n型掺杂浓度均大于第三JFET区域层6的n型掺杂浓度;所述第二JFET区域层5的n型掺杂浓度大于第一JFET区域层4的n型掺杂浓度。

全文数据:

权利要求:

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