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申请/专利权人：常州承芯半导体有限公司

摘要：一种声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器，其中装置包括：压电层；位于压电层上的电极结构，电极结构包括第一总线和第二总线，第一总线连接若干第一电极条，第二总线连接第二电极条；第一电极条包括第一部、第二部和第三部；第二电极条包括第四部、第五部和第六部；第一总线和第二总线之间具有第一间隔区、第一慢速区、重合区、第二慢速区和第二间隔区，第二部位于第一慢速区，第五部位于第二慢速区。利用位于第一慢速区中的第二部和第二慢速区中的第五部，能够降低能量由重合区传向第一间隔区和第二间隔区的传播速度，从而形成pistonmode，有效抑制能量在重合区内所产生的横向寄生模态。

主权项：1.一种声表面波谐振装置，其特征在于，包括：压电层；位于所述压电层上的电极结构，所述电极结构包括沿第一方向平行排布的第一总线和第二总线，所述第一总线连接若干沿第二方向平行排布的第一电极条，所述第二总线连接若干沿所述第二方向平行排布的第二电极条，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一电极条和所述第二电极条交错放置；所述第一电极条包括第一部、第二部和第三部，所述第二部包括相对的第一端和第二端，所述第一部与所述第二部的第一端连接，所述第三部与所述第二部的第二端连接；所述第二电极条包括第四部、第五部和第六部，所述第五部包括相对的第三端和第四端，所述第四部与所述第五部的第三端连接，所述第六部与所述第五部的第四端连接；所述第一部和所述第二部之间、所述第二部和所述第三部之间、所述第四部和所述第五部之间、以及所述第五部和所述第六部之间具有连接夹角；所述第一总线和所述第二总线之间具有沿所述第一方向依次排布的第一间隔区、第一慢速区、重合区、第二慢速区和第二间隔区，所述第一部位于所述第一间隔区，且所述第一部与所述第一总线连接，所述第二部位于所述第一慢速区，所述第三部和所述第六部位于所述重合区，且沿所述第二方向，所述第三部和所述第六部具有部分重合，所述第四部位于所述第二间隔区，且所述第四部与所述第二总线连接，所述第五部位于所述第二慢速区；其中，所述第二部和所述第五部分别包括：第一金属层和第二金属层，所述第二金属层的材料与所述第一部、所述第三部、所述第四部和所述第六部的材料相同且厚度相同。

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