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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及有机膜形成材料、图案形成方法、及有机膜用化合物。本发明提供一种有机膜用化合物，能形成不仅耐热性、于基板形成的图案的填埋、平坦化特性优异且对于基板的成膜性、密合性良好的有机膜，并提供含有前述化合物的有机膜形成材料、及使用了前述材料的图案形成方法。一种有机膜形成材料，其特征为含有下列通式1表示的有机膜用化合物及有机溶剂。
主权项：1.一种有机膜形成材料，其特征为含有下列通式1表示的有机膜用化合物及有机溶剂， 式中，W1为含有芳香环的n1价有机基团，L为芳香环上的取代基且为下列通式2表示的L1、L2或其两者，令芳香环上的取代基L的总数为n1、L1的个数为x、L2的个数为y时，符合x+y＝n1、2≤n1≤8、0≤y≤8、0≤x≤8的关系， 式中，n2表示1～3的整数，R1为下式3中的任意者，R2为下列通式4中的任意者， 式中，R3为下式5中的任意者，n3表示0或1，n4表示1或2，
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 有机膜形成材料、图案形成方法、及有机膜用化合物
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