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一种集成电路用具有支撑结构的有机废气ROT洁净处理装置 

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申请/专利权人:江苏天兴环保股份有限公司

摘要:本实用新型公开了一种集成电路用具有支撑结构的有机废气ROT洁净处理装置,包括:处理机箱和进气对接法兰,所述处理机箱的左右两端分别连接有进气对接法兰和出气对接法兰,所述进气对接法兰和出气对接法兰的表面分别开设有进气孔和出气孔;所述处理机箱的底面连接有支撑架,所述处理机箱靠近支撑架的一侧表面连接有安装耳。该集成电路用具有支撑结构的有机废气ROT洁净处理装置,通过将处理机箱底端的安装耳与支撑架进行连接,接着将联动板搭接在安装耳的表面,接着将两个固定螺栓分别穿过联动板和安装耳与支撑架进行连接,将处理机箱固定安装在支撑架的表面上,进而对处理机箱进行辅助支撑,避免了处理机箱底面因长期接触底面造成的腐蚀现象。

主权项:1.一种集成电路用具有支撑结构的有机废气ROT洁净处理装置,包括:处理机箱1和进气对接法兰2,其特征在于:所述处理机箱1的左右两端分别连接有进气对接法兰2和出气对接法兰3,所述进气对接法兰2和出气对接法兰3的表面分别开设有进气孔4和出气孔5;所述处理机箱1的底面连接有支撑架6,所述处理机箱1靠近支撑架6的一侧表面连接有安装耳7,所述安装耳7的表面搭接有联动板8,所述联动板8的表面贯穿连接有两个固定螺栓9。

全文数据:

权利要求:

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