龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：三星电子株式会社
申请日：2022-09-20
公开（公告）日：2023-06-09
公开（公告）号：CN116243553A
主分类号：G03F1/36
分类号：G03F1/36
优先权：["20211208 KR 10-2021-0175210"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2023.06.09#公开
摘要：公开了一种生成曲线亚分辨率辅助特征SRAF的方法、一种用于对该曲线SRAF进行简单MRC验证的MRC验证方法以及一种包括生成该曲线SRAF的方法的掩模制造方法，该生成该曲线SRAF的方法能够容易地生成满足掩模规则检查MRC条件的曲线SRAF。该生成该曲线SRAF的方法包括：生成与主要特征相对应的用于生成该曲线SRAF的曲线轴；在该曲线轴的线上生成曲线点；以及基于该曲线点生成该曲线SRAF。
主权项：1.一种生成曲线亚分辨率辅助特征的方法，所述方法包括：生成与主要特征相对应的用于生成所述曲线亚分辨率辅助特征的曲线轴；在所述曲线轴的线上生成曲线点；以及基于所述曲线点生成所述曲线亚分辨率辅助特征。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 生成曲线SRAF的方法、验证MRC的方法和制造掩模的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号