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申请/专利权人：南京大学
摘要：本发明公开了一种REC半导体激光器阵列波长控制系统，包括整体式TEC、测温电路、温度误差放大器、PID补偿电路、TEC驱动电路、独立式TEC、热敏电阻和热沉；独立式TEC、热敏电阻和热沉设置在激光器阵列芯片结构内部；TEC驱动电路先对设置在衬底底面上的整体式TEC施加电压，采用整体式TEC对整个激光器阵列芯片进行温度粗调，再对不满足目标温度电信号的激光器单元上的独立式TEC施加电压，采用独立式TEC对相应的激光器单元进行温度精调。本发明通过在激光器阵列芯片的外部和内部分别进行温度的粗调和精调，使得每个激光器通道均能输出稳定波长的光束，实现对波长间隔的精确控制。
主权项：1.一种REC半导体激光器阵列波长控制系统，用于对基于REC技术制作的激光器阵列芯片的每个激光器单元的温度进行调节，其特征在于，所述波长控制系统包括整体式TEC、测温电路、温度误差放大器、PID补偿电路、TEC驱动电路、M个独立式TEC、M个热敏电阻和M个热沉；M为大于等于2的正整数；所述整体式TEC、测温电路、温度误差放大器、PID补偿电路和TEC驱动电路设置在激光器阵列芯片结构外部；所述独立式TEC、热敏电阻和热沉设置在激光器阵列芯片结构内部，与激光器单元一一对应；热敏电阻位于激光器单元上方；独立式TEC沉积在激光器阵列芯片的衬底上，通过相应的热沉与所属激光器单元的下表面连接；所述测温电路与热敏电阻连接，将热敏电阻感知到的相应激光器单元的实时工作温度转换成相应的工作温度电信号；温度误差放大器将测温电路输出的每个激光器单元的工作温度电信号与预设的相应通道的目标温度电信号进行差分处理，得到每个激光器单元的温度误差信号，并对温度误差信号进行放大；所述PID补偿电路根据温度误差放大器输出的M个温度误差信号，控制TEC驱动电路工作，使TEC驱动电路先对设置在衬底底面上的整体式TEC施加电压，采用整体式TEC对整个激光器阵列芯片进行温度粗调，再对不满足目标温度电信号的激光器单元的独立式TEC施加电压，采用独立式TEC对相应的激光器单元进行温度精调。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京大学 一种REC半导体激光器阵列波长控制系统
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