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申请/专利权人：拓荆科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种开腔装置、一种开腔方法及一种存储介质。所述开腔装置包括：旋转机构，其第一端连接腔室盖板，而其第二端连接平移机构的第一端；以及所述平移机构，其第二端连接腔室本体，其中，所述平移机构响应于开腔需求而向远离所述腔室本体的方向平移，所述旋转机构响应于所述平移机构的平移到位而向预设的开腔方向旋转。通过采用上述配置，本发明能够避免传输腔体与其移动盖板之间的局部摩擦，以提升传输腔内环境的密封性及洁净度。
主权项：1.一种开腔装置，其特征在于，包括：旋转机构，其第一端连接腔室盖板，而其第二端连接平移机构的第一端；以及所述平移机构，其第二端连接腔室本体，其中，所述平移机构响应于开腔需求而向远离所述腔室本体的方向平移，所述旋转机构响应于所述平移机构的平移到位而向预设的开腔方向旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技股份有限公司 开腔装置、开腔方法及存储介质
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