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申请/专利权人：杭州乾晶半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单晶生长炉开腔自动除尘系统，包括设置于单晶生长炉上的除尘系统；所述除尘系统包括第一吸尘部与第二吸尘部，所述第一吸尘部与第二吸尘部对称设置；所述第一吸尘部呈半环形，内侧设有多个内吸口，外侧设有变径连接部，所述变径连接部的远端设有接口，所述第一吸尘部的一侧设有尘埃粒子计数器。本实用新型通过开炉自动检测系统，达到尘埃颗粒大于设定值时启动除尘，避免石墨粉尘四溢，对电气元器件造成短路风险，和污染室内环境的风险，能够有效捕获微小颗粒物，保持开腔的洁净环境，能够循环利用清洁空气，减少能源浪费和排放。
主权项：1.一种单晶生长炉开腔自动除尘系统，其特征在于，包括设置于单晶生长炉上的除尘系统；所述除尘系统包括第一吸尘部与第二吸尘部，所述第一吸尘部与第二吸尘部对称设置；所述第一吸尘部呈半环形，内侧设有多个内吸口，外侧设有变径连接部，所述变径连接部的远端设有接口，所述第一吸尘部的一侧设有尘埃粒子计数器。
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百度查询： 杭州乾晶半导体有限公司 一种单晶生长炉开腔自动除尘系统
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