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一种OC正型有机光阻的剥膜重工方法 

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申请/专利权人:福建华佳彩有限公司

摘要:本发明公开了一种OC正型有机光阻的剥膜重工方法,涉及TFT‑LCD生产技术领域。所述方法包括:步骤10、对待重工产品进行无光罩曝光;步骤20、对曝光后的产品再次进行显影制程,曝光后的OC正型光阻可溶于光阻显影液,从而实现OC光阻剥膜,剥膜后的产品可进入重工制程。本发明提供的一种OC正型有机光阻的剥膜重工方法,将不溶于光阻显影液也不溶于光阻剥离液的OC正型光阻,通过无光罩曝光后再显影,从而达成光阻剥膜工艺,实现产品重工,增加生产良率,降低生产成本。

主权项:1.一种OC正型有机光阻的剥膜重工方法,其特征在于,用于经过显影制程的带有OC正型有机光阻的需重工产品,所述方法包括如下步骤:步骤10、对需重工产品进行无光罩曝光;步骤20、对曝光后的产品再次进行显影制程,曝光后的OC正型光阻可溶于光阻显影液,从而实现OC光阻剥膜,剥膜后的产品可进入重工制程。

全文数据:

权利要求:

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