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申请/专利权人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
申请日：2023-11-12
公开（公告）日：2024-03-08
公开（公告）号：CN117663983A
主分类号：G01B11/00
分类号：G01B11/00;G01B11/02;G01B11/22;G01N21/88;G01N21/01;G01N21/95;G01N21/956;G01M11/00;G01M11/02;G01M11/08
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开
摘要：本发明一种大口径平面光学元件表面疵病便携式检测方法及装置，属于光学元件表面疵病检测技术领域；方法为：通过系统调整机构将成像测量系统定位于与待测表面相对；调节系统调整机构，使得所述成像测量系统中的大视场出射光路与待测表面的疵病中心对焦，并成像清晰，获取疵病位置信息；将成像测量系统中大视场切换为小视场；调节系统调整机构，使得所述小视场出射光路与待测表件的疵病中心对焦，并成像清晰，获取疵病宽度信息；通过波前传感系统获取疵病深度信息；通过大口径平面光学元件表面疵病检测软件，对待测表面疵病进行识别处理，并存储表面疵病成像画面；进行信息存储，并完成检测报告。本发明解决了现有技术中无法现场检测的问题。
主权项：1.一种大口径平面光学元件表面疵病便携式检测方法，其特征在于具体步骤如下：通过系统调整机构将成像测量系统定位于与待测表面相对；调节系统调整机构，使得所述成像测量系统中的大视场出射光路与待测表面的疵病中心对焦，并成像清晰，获取疵病位置信息；将成像测量系统中大视场切换为小视场；调节系统调整机构，使得所述小视场出射光路与待测表件的疵病中心对焦，并成像清晰，获取疵病宽度信息；同时，通过波前传感系统获取疵病深度信息；通过大口径平面光学元件表面疵病检测软件，对待测表面疵病进行识别处理，并存储表面疵病成像画面；由大口径平面光学元件表面疵病检测软件输出疵病检测区域的疵病信息，并进行信息存储，并完成检测报告。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 大口径平面光学元件表面疵病便携式检测方法及装置
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