申请/专利权人:西安中星测控有限公司
申请日:2024-01-03
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117490910B
主分类号:G01L19/00
分类号:G01L19/00;B23P15/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权;2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开
摘要:本申请提供一种高精度MCS压力传感器及制作方法,其中,高精度MCS压力传感器,包括:压力传感器本体、挡圈、固定锁紧环、定位基座;所述压力传感器本体具有内腔,所述内腔套设于所述定位基座上,与所述定位基座顶面形成流体压力腔;所述压力传感器本体外部具有凸台,所述挡圈套设在所述压力传感器本体上部,放置在所述凸台上,通过所述固定锁紧环与所述定位基座固定;所述定位基座具有流体压力入孔,所述流体压力入孔与所述流体压力腔连通。本申请提供的高精度MCS压力传感器及制作方法及系统,能够克服压力传感器在工作时不受定位件或固定件的影响,使得压力传感器的迟滞、重复性、非线性等不受影响,同时也不会因安装误差而引入新的测量误差。
主权项:1.一种高精度MCS压力传感器,其特征在于,包括:压力传感器本体(1)、挡圈(2)、固定锁紧环(5)、定位基座(9);所述压力传感器本体(1)具有内腔,所述内腔套设于所述定位基座(9)上,与所述定位基座(9)顶面形成流体压力腔(6);所述压力传感器本体(1)外部具有凸台(11),所述挡圈(2)套设在所述压力传感器本体(1)上部,放置在所述凸台(11)上,通过所述固定锁紧环(5)与所述定位基座(9)固定;所述定位基座(9)具有流体压力入孔(8),所述流体压力入孔(8)与所述流体压力腔(6)连通;所述凸台(11)的厚度为0.1mm-2.0mm,深度为1mm-7mm;所述凸台(11)的厚度为,其中,为压力传感器毛坯直径,为所述凸台(11)的直径。
全文数据:
权利要求:
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