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一种用于CZ单晶炉10吋单晶等径自动校准直径的方法 

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申请/专利权人:四川高景太阳能科技有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司

摘要:本发明提供一种用于CZ单晶炉10吋单晶等径自动校准直径的方法,包括:获得晶棒重量;通过晶棒重量直径计算公式获得晶棒的重量直径;判断所述重量直径是否小于250mm或大于254mm;如判断结果为是,则继续判断所述重量直径和显示直径的偏差是否大于临界值,如判断结果为是,将显示直径修正为与所述重量直径相同,然后采用炉台自带的直径控制系统进行直径校准,所述显示直径为基于相机反馈的实时直径而显示出来的名义直径。本发明在拉晶工艺流程中的等径过程中,利用晶棒重量直径计算公式计算重量直径,提高了晶棒实时直径数值的精确度,使晶棒直径校准更加准确、有效,从而提高了晶棒产出良率。

主权项:1.一种用于CZ单晶炉10吋单晶等径自动校准直径的方法,其特征在于,包括:获得晶棒重量;通过晶棒重量直径计算公式获得晶棒的重量直径;判断所述重量直径是否小于250mm或大于254mm;如判断结果为是,则继续判断所述重量直径和显示直径的偏差是否大于临界值,如判断结果为是,将所述显示直径修正为与所述重量直径相同,然后采用炉台自带的直径控制系统进行直径校准,所述显示直径为基于相机反馈的实时直径而显示出来的名义直径。

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