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申请/专利权人：之江实验室
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN117930600A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20;G02B26/08;G02B26/10
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要：本发明公开一种基于DMD实现双光束时空调制及扫描的打印方法及系统。该系统将单个DMD分为两个半区实现对两束窄带激光的独立高速调制，并利用二值全息术实现对其衍射级次的三维随机扫描及精确对准。进一步的，本发明还可以在空间域和时间域对两束激光进行任意调制，以适用不同曝光条件的刻写介质。通过匹配物镜的数值孔径和双光束在物镜后孔阑的距离，两束激光在物镜下垂直相交，从而实现更优的等效点扩散函数，并达到接近1：1的体素纵横比。该系统具有高灵活度，高稳定性，低复杂度和低成本的特点，适用于高通量的三维超分辨打印领域。
主权项：1.一种基于DMD实现双光束时空调制及扫描的打印方法，其特征在于，将第一光束和第二光束分别入射到数字微镜阵列的两个分区，经过衍射后垂直于数字微镜阵列出射；随后经过傅里叶透镜使第一光束和第二光束在空间滤波器所在平面形成聚焦的衍射级次，并经过空间滤波器滤去多余级次后；然后经过管透镜使第一光束和第二光束平行入射至物镜的后孔阑两侧，再经过物镜分别聚焦至刻写介质内，形成双光束两两对准并垂直相交的衍射图案；通过变换数字微镜阵列上加载的二值全息图进行三维空间内的随机扫描，实现三维结构的刻写。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 之江实验室 基于DMD实现双光束时空调制及扫描的打印方法及系统
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