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申请/专利权人：浙江尚越新能源开发有限公司
摘要：本发明涉及一种双面CIGS电池片的二次蒸镀装置，解决双面CIGS电池片对基底背面进行二次镀膜时容易对基底正面已完成镀膜造成损伤破坏的问题。本装置包括真空腔，真空腔内设置放卷轴、收卷轴以及若干输送辊，放卷轴和收卷轴之间依次沿各输送辊输送基底，基底输送中段为蒸镀区，其特征在于：蒸镀区的下方设置下蒸发源，蒸镀区的基底上方在相邻输送辊之间设置加热板，所述加热板之间或者加热板与输送辊之间设有朝下向基底上表面喷出硒蒸气的补硒喷口，所述补硒喷口连接有上硒蒸发源。本发明在对双面CIGS电池片的基底背面二次镀膜时，对基底的正面进行补硒，确保基底背面在高温二次镀膜环境下，基底正面的镀膜面不被破坏。
主权项：1.一种双面CIGS电池片的二次蒸镀装置，包括真空腔，真空腔内设置放卷轴、收卷轴以及若干输送辊，放卷轴和收卷轴之间依次沿各输送辊输送基底，基底输送中段为蒸镀区，其特征在于：蒸镀区的下方设置下蒸发源，蒸镀区的基底上方在相邻输送辊之间设置加热板，所述加热板之间或者加热板与输送辊之间设有朝下向基底上表面喷出硒蒸气的补硒喷口，所述补硒喷口连接有上硒蒸发源。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江尚越新能源开发有限公司 一种双面CIGS电池片的二次蒸镀装置
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