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申请/专利权人：浙江芯科半导体有限公司
摘要：本发明涉及碳化硅领域，具体公开了一种环保重结晶碳化硅粒度砂生产方法；本发明先选用高纯度的石英砂和高固定碳含量的石油焦作为原料制作碳化硅原料，能够有效提升碳化硅原料的初始纯净度，之后对高纯度的碳化硅原料进行粉碎筛选，筛选出符合酸洗要求的碳化硅粉末，对碳化硅粉末进行酸洗纯化，去除碳化硅粉末内部含有的金属离子和碳粉，进一步提纯碳化硅微粉，将碳化硅微粉与混合改性剂和去离子水混合搅拌，改善碳化硅微粉的性质，有助于后续碳化硅的重结晶，再将碳化硅微粉置于烧结炉内部进行重结晶，将重结晶碳化硅烧结体进行粉碎，即可得到高质量的重结晶碳化硅粒度砂。
主权项：1.一种环保重结晶碳化硅粒度砂生产方法，其特征在于，具体包括以下步骤：S1、制备原料，选用高纯度的石英砂作为硅源，选用高固定碳含量的石油焦作为碳源，将高纯度石英砂和高固定碳含量的石油焦混合在一起，将混合物倒入电阻炉内部进行加热，将石英中二氧化硅被碳元素还原制得碳化硅；S2、粉碎，将制得碳化硅结晶块通过粉碎装置破碎成小粒径粉末，然后通过筛分装置筛选出一定粒度的碳化硅粉末；S3、纯化，将所制得的碳化硅粉末转移到酸洗炉内部，向酸洗炉内部置入浓硫酸，通过浓硫酸去除碳化硅粉末内部残留的金属离子和碳粉，过滤分离碳化硅粉末；S4、洗涤净化，将碳化硅粉末置于搅拌混合筒内部，向洗涤炉内部加入混合改性剂和去离子水，搅拌混合30—40min，再置入碳化硅研磨介质进行混合搅拌，混合搅拌时长为50—60h；S5、过筛，将搅拌好的物料进行过筛，筛除物料内部的碳化硅研磨介质；S6、将筛选出的物料进行烘干和过筛操作，得到重结晶用的碳化硅微粉；S7、重结晶，将碳化硅微粉置于烧结炉内部，使用保护气体对烧结炉进行洗炉，升高烧结炉温度，使得碳化硅微粉发生重结晶，形成碳化硅微粉烧结体，粉碎碳化硅微粉烧结体形成重结晶碳化硅粒度砂。
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