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申请/专利权人：硅密(常州)电子设备有限公司
申请日：2023-12-29
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118039538A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/67;B08B3/04
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.31#实质审查的生效;2024.05.14#公开
摘要：本发明公开了集成式片篮退出与传输系统，包括集成在机壳内的片篮移出组件、进料组件、机械手和分离组件；所述机壳内由一隔板将腔体分隔为两个腔室，后端的腔室内安装有机械手，前端的腔室内依次分为第一工位、第二工位和第三工位；第一工位上设有片篮移出组件，第二工位上设有进料组件、第三工位上设有分离组件；整个过程完全自动化，避免人工手动分离对硅片造成划伤，污染。全自动，降低客户成本，提高产能。
主权项：1.集成式片篮退出与传输系统，其特征在于，包括集成在机壳内的片篮移出组件、进料组件、机械手和分离组件；所述机壳内由一隔板将腔体分隔为两个腔室，后端的腔室内安装有机械手，前端的腔室内依次分为第一工位、第二工位和第三工位；第一工位上设有片篮移出组件，第二工位上设有进料组件、第三工位上设有分离组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 硅密(常州)电子设备有限公司 集成式片篮退出与传输系统
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