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申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司
申请日：2024-02-21
公开（公告）日：2024-05-28
公开（公告）号：CN118079814A
主分类号：B01J19/00
分类号：B01J19/00;C01B32/984
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.14#实质审查的生效;2024.05.28#公开
摘要：本发明公开了一种高纯、低氮、大粒径碳化硅粉的制备装置，其内部由外至内依次同轴设置有感应线圈、石英管、外坩埚和内坩埚，石英管上下两端分别通过上法兰盘和下法兰盘密封，上法兰盘上安装有工艺气体接口一和工艺气体接口二；内坩埚与外坩埚之间设置有内部热场，外坩埚外部包裹有外部热场，内坩埚内置有隔离坩埚，隔离坩埚的外壁紧贴内坩埚的内壁；外坩埚连通有石墨管一，石墨管一连接有石墨管二，石墨管二通过不锈钢输气管连接上法兰盘的工艺气体接口二。本发明制备方法基于上述装置，由于本发明内部热场与外部热场通过外坩埚隔开，能够降低外部热场的氮源及杂质对内部热场的影响，因此，能够制备出高纯、低氮、大粒径的碳化硅粉。
主权项：1.一种高纯、低氮、大粒径碳化硅粉的制备装置，其特征在于，该装置内部由外至内依次同轴设置有感应线圈、石英管、外坩埚和内坩埚，所述石英管上下两端分别通过上法兰盘和下法兰盘密封，所述石英管内部限定出炉腔，所述上法兰盘上安装有工艺气体接口一和工艺气体接口二，所述工艺气体接口一接混气管路，所述工艺气体接口二接氢气管路；所述内坩埚与所述外坩埚之间设置有内部热场，所述外坩埚外部包裹有外部热场，所述内坩埚、所述外坩埚、所述内部热场和所述外部热场均设置在载台上，所述载台通过支撑轴支撑在所述石英管内部，所述支撑轴下端穿过下法兰盘位于石英管外部；所述内坩埚内置有上部具有开口的隔离坩埚，所述隔离坩埚的外壁紧贴所述内坩埚的内壁；所述外坩埚顶部开设有中心孔一，该中心孔一连接有石墨管一，所述石墨管一上端通过螺纹卡扣连接有石墨管二，所述石墨管二上端向上穿过外坩埚和外部热场后通过不锈钢输气管与上法兰盘上的工艺气体接口二相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 高纯、低氮、大粒径碳化硅粉的制备装置及方法
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