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申请/专利权人：迈科微纳半导体技术(昆山)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于CP测试的高精度四轴驱动结构，包括：第一大理石基座、第二大理石基座、X轴托板、Z轴托板、θ轴托板以及旋转盘，六者之间形成有X、Y、Z三个平移运动轴以及一个绕Z轴旋转的旋转运动轴；对于大尺寸的基座，采用大理石制成，对于尺寸较小的托板，采用钢材作为材料，由于大理石弹性变形很小的特征，可以有效减少由于基座的微小变形对精度带来的影响；在Z轴托板与X轴托板之间设置刚柔耦合连接板，可以通过刚柔耦合连接板的变形实现摩擦补偿，确保X轴与Y轴的运动实现更高的精度；对于旋转盘的旋转，将丝杠组件的平移运动转化为旋转盘的转动运动，可有效提升旋转盘的旋转精度。上述措施能够极大提升各轴的运动精度，满足CP测试的高精度运行条件。
主权项：1.用于CP测试的高精度四轴驱动结构，其特征在于，其包括：第一大理石基座1，其固定安装；第二大理石基座2，其能够在Y轴驱动机构7的驱动作用下相对于所述第一大理石基座1沿着Y轴可控平移；X轴托板3，其能够在X轴驱动机构8的驱动作用下相对于所述第二大理石基座2沿着X轴可控平移；Z轴托板4，其四角位置与所述X轴托板3之间通过刚柔耦合连接板20连接；θ轴托板5，其能够在Z轴驱动机构9的驱动作用下相对于所述Z轴托板4沿着Z轴可控平移；旋转盘6，其能够在θ轴驱动机构10的驱动作用下相对于所述θ轴托板5可控旋转；所述θ轴驱动机构10包括丝杠组件101，所述丝杠组件101通过弹性钢片102连接所述旋转盘6以将直线运动转化为旋转运动；所述θ轴驱动机构10还包括设置在所述θ轴驱动机构10及所述θ轴托板5之间的θ轴高分辨率光栅尺103。
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权利要求：
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