申请/专利权人:哈尔滨工业大学
申请日:2024-03-29
公开(公告)日:2024-06-04
公开(公告)号:CN118130483A
主分类号:G01N21/88
分类号:G01N21/88;G01N21/94;G01N21/01
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.21#实质审查的生效;2024.06.04#公开
摘要:一种用于大口径光学元件表面状态快速暗场检测的多光源夹具系统,本发明涉及光学元件检测技术领域。本发明为了解决现有技术中暗场散射成像方法检测的光学元件有不同形状和尺寸,需要能够实现快速安装和下架,硬脆光学元件在检测过程中容易人为引入缺陷的问题。本发明包括夹具框体、底部高亮侧照光源、两个底部夹紧模块、左侧光源调整模块、顶部夹紧模块和右侧光源调整模块;顶部夹紧模块安装在框体的顶板上,左侧光源调整模块和右侧光源调整模块分别安装在框体底板的左右两侧,左侧光源调整模块和右侧光源调整模块之间安装有两个底部夹紧模块,底部高亮侧照光源安装在两个底部夹紧模块之间。本发明用于大口径光学元件表面状态快速暗场检测。
主权项:1.一种用于大口径光学元件表面状态快速暗场检测的多光源夹具系统,其特征在于:包括夹具框体1、底部高亮侧照光源2、两个底部夹紧模块7、左侧光源调整模块10、顶部夹紧模块11和右侧光源调整模块13;所述顶部夹紧模块11安装在框体1的顶板上,所述左侧光源调整模块10和所述右侧光源调整模块13分别安装在框体1底板的左右两侧,所述左侧光源调整模块10和所述右侧光源调整模块13之间安装有两个底部夹紧模块7,所述底部高亮侧照光源2安装在两个底部夹紧模块7之间。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 哈尔滨工业大学 一种用于大口径光学元件表面状态快速暗场检测的多光源夹具系统
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