申请/专利权人:崇辉半导体(深圳)有限公司
申请日:2024-03-05
公开(公告)日:2024-06-04
公开(公告)号:CN118127580A
主分类号:C25D3/48
分类号:C25D3/48;C25D5/54;C25D5/18
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.21#实质审查的生效;2024.06.04#公开
摘要:本申请涉及电路电镀的技术领域,具体公开了一种提升集成电路电镀金表面光洁度的方法。方法包括如下步骤:对电路板进行抛光处理,之后进行清洗,烘干得到清洗后的电路板;对清洗后的电路板进行除氢处理,得到除氢后的电路板;将除氢后的电路板浸渍在电镀液中进行脉冲电镀,电镀完成后取出电路板,用水洗涤,得到电镀完成的电路板;其中,电镀液包括5‑15gL亚硫酸金钠、40‑50gL柠檬酸、1‑2gL聚乙二醇、1.4‑2.8gL光亮剂、0.1‑0.6gL润湿剂、0.2‑0.5gL表面活性剂、20‑35gL络合剂。本申请的提升集成电路电镀金表面光洁度的方法,具有提高集成电路电镀金的表面光洁度的优点。
主权项:1.一种提升集成电路电镀金表面光洁度的方法,其特征在于:包括如下步骤:S1:对电路板进行抛光处理,之后进行清洗,烘干得到清洗后的电路板;S2:对清洗后的电路板进行除氢处理,得到除氢后的电路板;S3:将除氢后的电路板浸渍在电镀液中进行脉冲电镀,电镀完成后取出电路板,用水洗涤,得到电镀完成的电路板;其中,电镀液包括5-15gL亚硫酸金钠、40-50gL柠檬酸、1-2gL聚乙二醇、1.4-2.8gL光亮剂、0.1-0.6gL润湿剂、0.2-0.5gL表面活性剂、20-35gL络合剂,其中光亮剂为混合稀土和三聚磷酸钠复配而成。
全文数据:
权利要求:
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