申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

申请日：2019-11-20

公开（公告）日：2024-06-04

公开（公告）号：CN110752179B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.04#授权;2020.02.28#实质审查的生效;2020.02.04#公开

摘要：本发明公开了一种扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构，解决了现有托起机构存在的硅片底端定位高度不一致和同用性不强的问题。在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前齿架的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），在长方形板条接插凹槽中插接有长方体形板条（14）；在后齿架（10）的中上部设置有后梳齿（12），在后齿架的下部梳身上设置有螺栓连接通孔（11）；在前齿架（5）的后侧面上靠接有后齿架，组成梳齿状托架（3）。适合在石英舟装片机中使用。

主权项：1.一种扩散工艺篮具内成组硅片的托起机构，包括托架底座板（1），在托架底座板（1）上彼此平行地设置有两块托架立板（2），在每块托架立板（2）的顶端均设置有梳齿状托架（3），在两个梳齿状托架（3）之间放置有硅片（4），其特征在于，梳齿状托架（3）是由前齿架（5）和后齿架（10）组合而成的，前齿架（5）的形状和后齿架（10）的形状均为片状长方形梳；在前齿架（5）的中上部设置有前梳齿（7），在前梳齿（7）的上端设置有前梳齿锥形齿尖（8），在前齿架（5）的下部梳身上设置有长条状通孔（6），在前齿架（5）的后侧面上设置有长方形板条接插凹槽（9），长方形板条接插凹槽（9）设置在前梳齿（7）的底端根部上方，在长方形板条接插凹槽（9）中插接有长方体形板条（14）；在后齿架（10）的中上部设置有后梳齿（12），在后梳齿（12）的上端设置有后梳齿锥形齿尖（13），在后齿架（10）的下部梳身上设置有螺栓连接通孔（11）；在前齿架（5）的后侧面上靠接有后齿架（10），连接螺栓依次穿过长条状通孔（6）和螺栓连接通孔（11）后将前齿架（5）与后齿架（10）组合在一起；前齿架（5）的厚度为7毫米，前梳齿（7）的高度为45毫米，前梳齿（7）的宽度为2毫米，相邻两前梳齿（7）的间距为4.76毫米；后齿架（10）的厚度为5毫米，后梳齿（12）的高度为45毫米，后梳齿（12）的宽度为2毫米，相邻两后梳齿（12）的间距为4.76毫米。

全文数据：

权利要求：

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