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申请/专利权人：天津众晶半导体材料有限公司
申请日：2023-11-16
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201108U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/673
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：一种硅片清洗篮保护装置，包括横梁1和限位开关2，所述的横梁1上安装有顶杆3，所述的顶杆3上部安装有挡片4，顶杆3顶部接近限位开关2，所述的横梁1和顶杆3可以上下自由移动；所述的横梁1位于机械手5下部；所述的顶杆3拧置有螺丝6，所述的螺丝6置于挡片4下方。能够实现在在清洗篮出现异常时如挂不住清洗篮、清洗篮倾斜等，硅片清洗机自动报警、停机。
主权项：1.一种硅片清洗篮保护装置，其特征在于：包括横梁1和限位开关2，所述的横梁1上安装有顶杆3，所述的顶杆3上部安装有挡片4，顶杆3顶部接近限位开关2，所述的横梁1和顶杆3可以上下自由移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津众晶半导体材料有限公司 一种硅片清洗篮保护装置
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