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申请/专利权人：北京智创芯源科技有限公司
申请日：2024-01-29
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118156159A
主分类号：H01L21/60
分类号：H01L21/60;H01L21/02;H01L27/146
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明创造属于红外面阵探测器制造的技术领域，具体涉及了一种免清洗的缩球方法。本申请通过将完成铟剥离后的读出电路置于甲酸溶液中去除铟柱表面的氧化物；完成氧化物去除后，快速清理掉所述读出电路表面残留的甲酸溶液；将无明显甲酸溶液的所述读出电路置于真空回流炉中进行缩球。避免了铟柱在加热过程与溶液接触。缩球后电路表面洁净无异物，无需再次清洗。避免缩球过程中电路表面杂质的产生，减少缩球后的重复清洗，提高了工艺效率。耐腐蚀性回流炉的成本较高，这种缩球方法对回流炉的设备要求低，节约生产成本。
主权项：1.一种免清洗的缩球方法，其特征在于，包括：将完成铟剥离后的读出电路置于甲酸溶液中去除铟柱表面的氧化物；完成氧化物去除后，快速清理掉所述读出电路表面残留的甲酸溶液；将无明显甲酸溶液残留的所述读出电路置于真空回流炉中进行缩球。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京智创芯源科技有限公司 一种免清洗的缩球方法
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