申请/专利权人:福建阿石创新材料股份有限公司
申请日:2024-02-28
公开(公告)日:2024-06-07
公开(公告)号:CN118145965A
主分类号:C04B35/01
分类号:C04B35/01;C04B35/622;C04B35/628;C23C14/34
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要:本发明提供了一种氧化铟氢氧化锡复合物、ITO靶材的制备方法,属于ITO靶材领域。本发明提供了一种氧化铟氢氧化锡复合物的制备方法,包括以下步骤:将纳米氧化铟、锡盐溶液、含氢氧根的无机碱和水混合进行沉淀反应,将所得沉淀反应产物进行造粒,得到所述氧化铟氢氧化锡复合物;所述纳米氧化铟中铟元素与锡盐溶液中锡元素的摩尔比为20~100:1。本发明将纳米氧化铟采用直接引入的方式,避免了需要大量沉淀的操作,而微量掺杂的氢氧化锡采用沉淀的方式获得,可以保证氢氧化锡在氧化铟表面的均匀分布,使得其制备得到的ITO靶材中的氧化锡分布均匀,进而提高了ITO靶材致密度。
主权项:1.一种氧化铟氢氧化锡复合物的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将纳米氧化铟、锡盐溶液、含氢氧根的无机碱和水混合进行沉淀反应,将所得沉淀反应产物进行造粒,得到所述氧化铟氢氧化锡复合物;所述纳米氧化铟中铟元素与锡盐溶液中锡元素的摩尔比为20~100:1。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 福建阿石创新材料股份有限公司 一种氧化铟/氢氧化锡复合物、ITO靶材的制备方法
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