申请/专利权人：连城凯克斯科技有限公司

申请日：2021-10-28

公开（公告）日：2024-06-07

公开（公告）号：CN113970247B

主分类号：F27B17/00

分类号：F27B17/00;F27D3/00;F27D1/18;F27D13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.07#授权;2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.25#公开

摘要：本发明属于ALD工艺技术领域，具体的说是一种ALD设备用通过式加热炉，包括预热炉；所述预热炉一侧开设有前炉口，另一侧开设有后炉门；所述预热炉一侧侧壁上固接有前提升机，另一侧上固接有后提升机；所述预热炉一侧侧壁上滑动连接有前炉门，另一侧侧壁滑动连接有后炉门；所述前提升机和前炉门相互连接，后提升机和后炉门相互连接；所述预热炉内设有输送机构；所述预热炉内壁底端设有腔内加热器；一种ALD设备用通过式加热炉，通过设置前后门可同时打开，加热好的物料自动输送出炉体，待加热物料自动输送入炉体，准备加热，这样连续作业节省时间，提高效率。

主权项：1.一种ALD设备用通过式加热炉，其特征在于：包括预热炉1；所述预热炉1一侧开设有前炉口11，另一侧开设有后炉门14；所述预热炉1一侧侧壁上固接有前提升机15，另一侧上固接有后提升机16；所述预热炉1一侧侧壁上滑动连接有前炉门13，另一侧侧壁滑动连接有后炉门14；所述前提升机15和前炉门13相互连接，后提升机16和后炉门14相互连接；所述预热炉1内设有输送机构17；所述预热炉1内壁底端设有腔内加热器18；所述预热炉1顶端设有轴流风机；所述前炉门13和后炉门14内壁上均设有第一加热器19；所述输送机构17包括传动轴2和环形传送带22；一对所述传动轴2一端转动连接在预热炉1内壁，另一端上固接有链轮21；所述环形传送带22内壁上固接有链条23；所述链轮21和链条23相互啮合；所述预热炉1两侧侧壁均通过第一固定柱24固接有固定板25；所述传动轴2贯穿固定板25，且转动连接在固定板25上；所述环形传送带22两侧侧壁上均通过第二固定柱26固接有一组固定块27；所述固定块27中部开设有第一通槽31，且第一通槽31内滑动连接有第一连接柱29；所述第一连接柱29靠近固定板25的端部固接有弧形块3，另一端固接有挤压板28；所述弧形块3通过弹簧固接在固定块27侧壁上；所述固定板25通过推动组件推动弧形块3向固定块27方向移动；所述推动组件包括第一平面32、第一斜面33和第二平面34；一对所述固定板25的相对面的中部设有第一平面32；一对所述固定板25相对面靠近两端处均设有第二平面34；所述第一平面32和第二平面34相互之间通过第一斜面33相互连接；所述第一平面32和环形传送带22的侧壁直线距离小于第二平面34和环形传送带22侧壁的直线距离；所述挤压板28靠近环形传送带22的侧壁上开设有一组波纹槽35；所述波纹槽35的凸块内开设有出气腔39；所述出气腔39靠近波纹槽35的侧壁上开设有第一出气孔391；所述固定块27内开设有第一空腔36；所述第一空腔36内壁密封滑动连接滑板37；所述滑板37靠近挤压板28的侧壁上固接有第三固定柱38；所述第三固定柱38贯穿第一空腔36并固接有在挤压板28上；所述第一空腔36和出气腔39通过软管相互连通；所述软管在第一空腔36的连通点处位于第一空腔36靠近挤压板28的侧壁上；所述第一连接柱29包括第二连接杆4和T形杆42；所述第二连接杆4的一端固接在弧形块3，另一端上开设有T形槽41；所述T形槽41槽底通过弹簧固接有T形杆42；所述T形杆42的端部固接在挤压板28上；所述波纹槽35的凹槽内固接有一组一对对称的弧形弹片43；一对所述弧形弹片43相背弯曲；所述挤压板28内相对于波纹槽35凹槽处开设有第二空腔44；所述第二空腔44内滑动连接有滑动板45；所述滑动板45通过第一细绳46和弧形弹片43弯曲内壁相互连接；所述第二连接杆4端部通过第二细绳47和滑动板45相互连通；所述第一通槽31靠近挤压板28的开口处设有倒圆角；所述弧形弹片43的弯曲外侧壁上固接有一组压块48；所述压块48的材质为柔软的石墨盘根；所述压块48的截面为弧形；所述压块48内开设有中空腔5；所述中空腔5顶端开设有第二出气孔51。

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