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申请/专利权人：包头美科硅能源有限公司;云南美科新能源发展有限公司
申请日：2024-03-29
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118166422A
主分类号：C30B29/06
分类号：C30B29/06;C30B15/10
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本发明公开了一种改善单晶工序中坩埚鼓包的方法，涉及单晶硅生产技术领域，包括：向坩埚中添加硅料；对单晶炉进行抽真空处理；将单晶炉控制在无压状态，并持续时间T，使坩埚中的气体逸散至单晶炉内。本发明通过对单晶炉进行抽真空，使坩埚中的气泡与单晶炉内进行压力差，坩埚中的气体会逸散到压力更低的单晶炉内，从而达到坩埚内气泡中的气体被抽出的效果，有效改善了坩埚鼓包的情况，大大延长了坩埚的使用寿命，从而降低了单晶硅的生产成本。
主权项：1.一种改善单晶工序中坩埚鼓包的方法，其特征在于：包括：向坩埚中添加硅料；对单晶炉进行抽真空处理；将单晶炉控制在无压状态，并持续时间T，使坩埚中的气体逸散至单晶炉内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 包头美科硅能源有限公司;云南美科新能源发展有限公司 一种改善单晶工序中坩埚鼓包的方法
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