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申请/专利权人：佳能株式会社
申请日：2020-09-11
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN112506007B
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：["20190913 JP 2019-167470"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2021.10.01#实质审查的生效;2021.03.16#公开
摘要：本发明涉及快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法。为了将快门关闭驱动定时提前并抑制照度变动引起的累计光量控制精度的下降，在快门装置中具有：快门，其遮蔽来自光源的光或者使来自光源的光通过；测量单元，其对通过了所述快门的光的照度进行测量；以及控制单元，其基于在所述快门处于全开状态时由所述测量单元测量出的照度值和预先设定的设定累计光量来计算既定的测量时间，基于所述既定的测量时间的累计光量来计算开始所述快门的关闭驱动时的累计光量。
主权项：1.一种快门装置，其特征在于，具有：快门，其遮蔽来自光源的光或者使来自光源的光通过；测量单元，其对通过了所述快门的光的照度进行测量；以及控制单元，其基于在所述快门处于全开状态时由所述测量单元测量出的照度值B和预先设定的设定累计光量A并根据下式1来计算测量时间Texp，Texp＝AB1并且基于所述测量时间Texp的累计光量来计算从开始所述快门的关闭驱动起至结束关闭驱动为止的期间的累计光量Acls，并基于设定累计光量A和所述累计光量Acls来计算开始所述快门的关闭驱动时的累计光量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 快门装置、光量控制方法、光刻装置及物品制造方法
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