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申请/专利权人：常州容导精密装备有限公司

摘要：本申请涉及气化容器技术领域，尤其涉及一种用于储存固体颗粒的升华容器及高浓度蒸汽制备方法，包括，底部设置为弧形的本体；密封连接在本体上的上盖，上盖上设置有进气管和排气管；沿本体的轴向排列设置于本体内的多个储料盘，储料盘上连接有支撑柱和多个导气柱；其中，支撑柱上设置有通孔，多个支撑柱上的通孔连通形成与进气管相对的进气孔，相邻的储料盘上的导气柱在水平方向上和竖直方向上均交错设置。高浓度蒸汽制备方法，使用如上的用于储存固体颗粒的升华容器制备蒸汽，本申请中固体颗粒在储存装置中直接实现气化，通入本体内的气体均匀朝向储料盘流动，气体与固体反应，稳定输出浓度较高的均匀蒸汽，降低了成本，提高薄膜沉积作业效率。

主权项：1.一种用于储存固体颗粒的升华容器，其特征在于，包括，本体1，所述本体1上设置有容纳腔10，所述本体1的底部设置为弧形；上盖2，所述上盖2密封连接在本体1的开口端上，所述上盖2上设置有进气管20和排气管21，所述进气管20、排气管21上均设置有阀门；多个储料盘3，多个所述储料盘3沿容纳腔10的轴向排列设置于容纳腔10内，所述储料盘3上连接有支撑柱30和多个导气柱31；其中，所述支撑柱30上设置有通孔，多个所述储料盘3上支撑柱30上的通孔相互连通形成进气孔303，所述进气孔303与进气管20相对，所述导气柱31上设置有气孔311，相邻的所述储料盘3上的导气柱31交错设置；所述导气柱31的一端贯穿储料盘3的底面，所述导气柱31贯穿储料盘3底部的一端端面为下端面，所述下端面位于储料盘3底面下方；所述导气柱31远离储料盘3底部的一端端面为上端面，所述上端面位于储料盘3开口端端面的下方，在相邻的所述储料盘3中，位于下方的储料盘3上的导气柱31的上端面，与位于上方的储料盘3底面之间的间距A与储料盘3深度H之间满足比例关系1:10~1:18；相邻的所述储料盘3中，位于上方的储料盘3上的导气柱31的下端面，位于其下方的储料盘3上的导气柱31的上端面的下方；位于上方的所述储料盘3上的导气柱31的下端面与其下方的储料盘3上的导气柱31的上端面之间的间距B，与A之间满足比例关系1:1.5~2:1。

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