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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本申请公开了一种用于升华法生长氮化铝晶体的装置。该装置包括隔热层、基座隔热层、坩埚部件、辅热部件和线圈。隔热层和基座隔热层构成的隔热装置内含收纳空间。坩埚部件装置在隔热层的收纳空间中。辅热部件包含第一加热部件、第一承接部件、第二加热部件和第二承接部件。在第一坩埚的内含收纳空间中，第一加热部件以上的空间为第一热空间，第一加热部件与第二加热部件之间的空间为第二热空间，第一承接部件以下的空间为第三热空间。线圈布置在隔热层外围。本申请提出的用于升华法生长氮化铝晶体的装置，能有效的提高晶体生长的均匀性。
主权项：1.一种用于升华法生长氮化铝晶体的装置，其特征在于，包括隔热层、基座隔热层、坩埚部件、辅热部件和线圈；所述隔热层和基座隔热层构成的隔热组件内含收纳空间；所述坩埚部件被配置在所述收纳空间内；所述坩埚部件内含收纳空间；所述辅热部件被配置在所述坩埚部件的收纳空间中；所述线圈用以为所述坩埚部件提供热量；所述坩埚部件包括第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚内含收纳空间并且所述收纳空间容纳所述辅热部件，所述第二坩埚包围在所述第一坩埚的外围；所述辅热部件包含第一加热部件、第一承接部件、第二加热部件和第二承接部件；所述第一加热部件、第一承接部件和第二加热部件依次相连并且被配置于第一坩埚的收纳空间中；所述第二承接部件穿过坩埚部件底壁、基座隔热层和隔热层底壁；所述第一加热部件俯视方向横截面为圆环且其环内空间连接片状结构；所述第一承接部件和第二加热部件俯视方向横截面为圆环；所述第一加热部件以上的空间为第一热空间，所述第一加热部件与第二加热部件之间的空间为第二热空间，第一承接部件以下的空间为第三热空间，所述第一热空间、第二热空间和第三热空间连通，氮化铝原料粉源收纳于第三热空间；所述第一加热部件所产生温度低于第二加热部件所产生温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 一种用于升华法生长氮化铝晶体的装置
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