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【实用新型】平面移动装置_矽电半导体设备(深圳)股份有限公司_202323184249.6 

申请/专利权人:矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

申请日:2023-11-23

公开(公告)日:2024-06-11

公开(公告)号:CN221121591U

主分类号:F16M11/04

分类号:F16M11/04;F16M11/18;F16M11/22

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.11#授权

摘要:本实用新型公开了一种平面移动装置,包括:平台;导轨组件,包括设置于平台并沿第一方向延伸的第一导轨、以及滑动连接于第一导轨并沿第二方向延伸的第二导轨;移动机构,滑动连接于第二导轨上,移动机构能够相对于第二导轨沿竖向移动,移动机构的底部与平台的上表面相对设置,且移动机构的底部设置有多个气浮件。通过往气浮件通入气体,能够使得移动机构的下方形成气膜,从而使移动机构悬浮于平台之上,使得移动机构的底部与平台的上表面不直接接触,从而降低移动机构在移动过程中所受的摩擦力,以使用户在推动移动机构的过程中更加省力,另外,移动机构所受的摩擦力减小,也有利于提高移动机构的使用寿命。

主权项:1.一种平面移动装置,其特征在于,包括:平台;导轨组件,包括设置于所述平台并沿第一方向延伸的第一导轨、以及滑动连接于所述第一导轨并沿第二方向延伸的第二导轨;移动机构,滑动连接于所述第二导轨上,所述移动机构能够相对于所述第二导轨沿竖向移动,所述移动机构的底部与所述平台的上表面相对设置,且所述移动机构的底部设置有多个气浮件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 平面移动装置

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