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申请/专利权人：爱思开海力士有限公司
申请日：2023-07-31
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118198086A
主分类号：H01L27/146
分类号：H01L27/146
优先权：["20221213 KR 10-2022-0173636"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本申请涉及图像感测装置及用于制造该图像感测装置的方法。一种用于制造图像感测装置的方法包括：在半导体基板上方形成栅格结构，以提供用于设置滤色器的空间；在由栅格结构限定的空间中的一些空间中形成第一滤色器、第二滤色器、第三滤色器，第一滤色器、第二滤色器和第三滤色器分别透射与第一颜色、第二颜色和第三颜色相对应的光；形成外覆层，以覆盖第一滤色器至第三滤色器，外覆层填充由栅格结构限定的空间中的剩余空间，剩余空间中没有第一滤色器至第三滤色器；以及在外覆层上方形成微透镜。
主权项：1.一种用于制造图像感测装置的方法，该方法包括以下步骤：在半导体基板上方形成栅格结构，以提供用于设置滤色器的空间；在由所述栅格结构限定的空间中的一些空间中形成第一滤色器、第二滤色器、第三滤色器，所述第一滤色器、所述第二滤色器和所述第三滤色器分别透射与第一颜色、第二颜色和第三颜色相对应的光；形成外覆层，以覆盖所述第一滤色器至所述第三滤色器，所述外覆层填充由所述栅格结构限定的空间中的剩余空间，所述剩余空间中没有所述第一滤色器至所述第三滤色器；以及在所述外覆层上方形成微透镜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 爱思开海力士有限公司 图像感测装置及用于制造该图像感测装置的方法
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