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基于石墨烯/铜硫化物异质结的多巴胺电化学传感器 

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申请/专利权人:西安交通大学

摘要:本发明公开了一种基于石墨烯铜硫化物异质结的多巴胺电化学传感器,在蓝宝石基底石墨烯的基础上,沉积制备铜硫化物,形成石墨烯铜硫化物异质结构,以此结构作为传感器工作电极,通过电化学传感器检测多巴胺含量。本发明具有更好的传感特异性、更高的灵敏度等优势,且其制备过程可控、可重复,符合批量化生产的实际需求。

主权项:1.基于石墨烯铜硫化物异质结的多巴胺电化学传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,以蓝宝石为基底制备石墨烯:在坩埚内放置蓝宝石基底样品,并移至管式炉温区中央,对管式炉抽真空处理后,通200sccm氩气和40sccm氢气为载气并控制管式炉腔内压强恒定在500Torr;之后升温处理,通3%浓度的前驱气体甲烷,生长10min后,关闭氢气和甲烷,继续通氩气并自然冷却,得到蓝宝石基底石墨烯;步骤二,制备石墨烯铜硫化物异质结构:将铜粒作为靶材,对制备好的蓝宝石基底石墨烯进行电子束蒸镀处理,将蒸镀好的异质结薄膜放于坩埚中,并移至管式炉中央温区,同时于异质结薄膜上游40cm处放置装有硫粉的坩埚;之后对管式炉抽真空,通入氩气维持恒定气压在710Torr,控制氩气流速、管式炉以及硫粉升温速率,进行硫化,得到石墨烯铜硫化物异质结构;步骤三,制备以石墨烯铜硫化物异质结构为工作电极的多巴胺电化学传感器:在步骤二制备好的异质结构上旋涂2μm厚的光刻胶,再高温处理后进行100s的退火;将第一版光刻图形通过电子束光刻进行转移,在对准处进行标记;之后,通过等离子刻蚀工艺,获得已经过图案化的异质结,静置去除光刻胶,再进行二次光刻;在进行曝光显影后,通过蒸镀在样品表面进行金电极的沉积;重复以上光刻工艺,对准转移第三版光刻图像到金电极表面和异质结构上,沉积二氧化硅到图案化后异质结构表面;最后,制备石蜡阳模具,沉积固化得到PDMS微流道腔体,安装于异质结构上方,得到多巴胺电化学传感器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安交通大学 基于石墨烯/铜硫化物异质结的多巴胺电化学传感器

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