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申请/专利权人：吉林大学
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118194562A
主分类号：G06F30/20
分类号：G06F30/20;G01M11/02
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种对失调误差不敏感的非球面检测系统的设计方法，S1：给定系统参数的初始取值范围，输入到光线追迹计算模型，追迹模型均以CGH衍射面建立基准坐标系并取坐标网格矩阵；S2：加入载频，分离不需要的衍射级次，基于光线追迹方法计算级次分离距离，判断最小分离距离是否大于给定的小孔光阑半径，缩小参数取值范围，若全部不满足则修正参数初始取值范围；S3：基于光线追迹方法计算CGH衍射面相位，计算CGH最小线宽，根据最小加工线宽缩小参数取值范围；本发明系统设计旨在确保CGH在满足可加工条件下，减少非需要的衍射级次光和非球面失调对面型检测产生的误差，降低利用光学设计软件研究的时间成本，辅助面型检测，实现高效且高精度的检测。
主权项：1.一种对失调误差不敏感的非球面检测系统的设计方法，其特征在于：具体步骤包括：S1：给定系统参数的初始取值范围，输入到光线追迹计算模型，追迹模型均以CGH衍射面建立基准坐标系并取坐标网格矩阵；S2：加入载频，分离不需要的衍射级次，基于光线追迹方法计算级次分离距离，判断最小分离距离是否大于给定的小孔光阑半径，缩小参数取值范围，若全部不满足则修正参数初始取值范围；S3：基于光线追迹方法计算CGH衍射面相位，计算CGH最小线宽，根据最小加工线宽缩小参数取值范围，若全部不满足，则修正参数初始取值范围；S4：建立非球面在各给定的失调量下，包括倾斜和位移，波前变化量随系统参数变化的关系，解得最优系统参数，即在此系统参数下非球面失调的影响最小。S5：将得到的系统参数输入光学设计建模软件中，模拟系统误差加入仿真系统中，与编程软件互联，建立各失调误差与干涉波前拟合Zernike多项式系数之间的灵敏度矩阵。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学 一种对失调误差不敏感的非球面检测系统的设计方法
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