申请/专利权人：浙江泓芯半导体有限公司

申请日：2024-04-29

公开（公告）日：2024-06-14

公开（公告）号：CN118181095A

主分类号：B24B27/00

分类号：B24B27/00;B24B9/08;B24B41/00;B24B49/00;B24B41/02;B24B47/04;B24B41/06;B24B55/04

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.14#公开

摘要：本发明公开的石英舟打磨设备，包括底座、旋转定位机构、打磨机构测量定位机构和PLC控制器，底座的顶部固定安装有机架；打磨机构设置在机架上，打磨机构用于对石英舟上同侧石英板中的不同焊点同时进行打磨；旋转定位机构设置在底座的顶部，旋转定位机构用于将待打磨的石英舟送至打磨机构的下方，并将打磨完成的石英舟从打磨机构的下方移出；测量定位机构安装在机架上，测量定位机构用于对待打磨的石英舟上的焊点高度进行测量；测量定位机构、旋转定位机构和打磨机构均受控于PLC控制器，本发明通过设置的测量定位机构、旋转定位机构和打磨机构，大幅度提高了石英舟的打磨效率。

主权项：1.石英舟打磨设备，包括底座1，其特征在于：所述底座1的顶部固定安装有机架3；机架3上设有打磨机构6，所述打磨机构6用于对石英舟焊点进行打磨；所述机架3包括两个支撑架301，两个所述支撑架301设置在所述底座1的顶部，两个所述支撑架301的外侧上端均固定安装有安装座302，两个所述安装座302之间安装有C形安装板306，所述C形安装板306的两端均连接安装座302；两个所述支撑架301的下端均设置有用于调节两个所述支撑架301之间间距的调节机构；所述调节机构包括角铁303、螺栓304和固定座101，所述固定座101固定安装在所述底座1的顶部，所述支撑架301的顶部两侧均开设有用于所述固定座101进行装配固定的第一安装腰孔3011，所述角铁303固定安装在所述底座1的顶部，所述支撑架301的下端固定连接有固定块3012，所述螺栓304的一端螺纹贯穿所述角铁303后从所述固定块3012上穿出，所述螺栓304上位于所述固定块3012的两侧均螺纹安装有调节螺母305，所述螺栓304与所述固定块3012之间为滑动连接；所述打磨机构6包括两组打磨单元，两组打磨单元分别安装在与其对应的所述支撑架301的上端内侧，两组所述打磨单元均包括X轴驱动组件和Y轴驱动组件；所述X转轴驱动组件包括第二安装板601，所述第二安装板601固定安装在所述支撑架301的上端，所述第二安装板601的两端均固定安装有第二立板602，其中外侧所述第二立板602上固定安装有第二电机603，两个所述第二立板602之间转动连接有第二丝杠604，所述第二丝杠604上螺纹转动连接有第二螺母6041，所述第二螺母6041上固定连接有第三安装板605，所述第二安装板601上下端固定安装有第二滑轨6011，所述第二滑轨上均滑动设置有第二滑块6012，所述第二滑块6012与所述第三安装板605连接；所述Y轴驱动机构包括固定在所述第三安装板605上、下两端的第三立板606，两个所述第三立板606之间转动连接有第三丝杠6061，所述第三丝杠6061上螺纹转动连接有第三螺母6062，其中上端所述第三立板606的顶部固定安装有第三电机608，所述第三电机608的转轴与所述第三丝杠6061的上端固定连接，所述第三螺母6062上固定连接有移动座610，所述移动座610上固定安装有打磨电机612，所述打磨电机612的转轴上固定连接有打磨头613，所述第三安装板605前端固定安装有第三滑轨607，所述第三滑轨607上滑动设置有第三滑块611，所述第三滑块611通过第二连接杆609与所述移动座610连接。

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权利要求：

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