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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日：2022-12-12
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118186369A
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/40;C23C16/18
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本申请公开了一种粉末原子层沉积设备及粉末原子层沉积的方法，所述粉末原子层沉积设备包括依次管路连接的前驱体蒸发单元、前驱体蒸汽脉冲单元、混气单元、反应单元、尾气处理单元、真空单元。本申请的设备用于固体粉末颗粒表面进行原子层沉积，解决普通原子层沉积不适合对固体粉末颗粒进行原子层沉积的缺点，旋转反应器解决了原子层沉积无法在大量粉末颗粒表面进行均匀原子层沉积的技术难点。
主权项：1.一种粉末原子层沉积设备，其特征在于，所述粉末原子层沉积设备包括依次管路连接的前驱体蒸发单元、前驱体蒸汽脉冲单元、混气单元、反应单元、尾气处理单元、真空单元；所述反应单元包括反应腔和旋转反应器，所述旋转反应器位于所述反应腔的腔体I内；所述反应腔设有进气端和尾气端；所述混气单元与所述进气端连通，所述尾气处理单元与所述尾气端管路连通；所述粉末原子层沉积设备还设有载气进气口，所述载气进气口、混气单元、进气端依次管路连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院大连化学物理研究所 一种粉末原子层沉积设备及粉末原子层沉积的方法
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