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申请/专利权人：尼得科精密检测科技株式会社
申请日：2022-11-04
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118202252A
主分类号：G01R1/073
分类号：G01R1/073;G01R31/26
优先权：["20211108 JP 2021-182096"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明提供一种在将多个接触端子侧电极的节距变换为多个装置侧电极的节距的节距变换单元中，能够提高沿厚度方向贯通绝缘层的导电性通孔与导电层的接合强度的结构。节距变换单元1具有：多个树脂层12，沿厚度方向层叠；多个贯通导电体33，沿所述厚度方向贯通树脂层12；一对导电层36，相对于沿所述厚度方向相邻的两个树脂层12位于相向侧，与多个贯通导电体33中分别沿所述厚度方向贯通相邻两个树脂层12的贯通导电体33电性连接；绝缘层13，位于一对导电层36之间；以及导电性通孔34，沿所述厚度方向贯通绝缘层13，端部接合于一对导电层36。一对导电层36中的其中一个导电层36在与导电性通孔34的接合部分的至少一部分具有沿所述厚度方向凹陷的凹部40。
主权项：1.一种节距变换单元，其具有与对检查对象的检查点授受电气信号的多个接触端子电性连接的多个接触端子侧电极、及与检查装置电性连接的多个装置侧电极，将所述多个接触端子侧电极的节距变换为所述多个装置侧电极的节距，且所述节距变换单元具有：多个树脂层，沿厚度方向层叠；多个贯通导电体，沿所述厚度方向贯通所述多个树脂层中的至少一个树脂层；一对导电层，相对于所述多个树脂层中沿所述厚度方向相邻的两个树脂层位于相向侧，与所述多个贯通导电体中分别沿所述厚度方向贯通所述相邻两个树脂层的贯通导电体电性连接；绝缘层，位于所述一对导电层之间；以及导电性通孔，沿所述厚度方向贯通所述绝缘层，端部接合于所述一对导电层；所述一对导电层中的其中一个导电层在与所述导电性通孔的接合部分的至少一部分具有沿所述厚度方向凹陷的凹部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 尼得科精密检测科技株式会社 节距变换单元及其制造方法
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