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压力传感器、压力分析仪及其制备方法 

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申请/专利权人:深圳迈塔兰斯科技有限公司

摘要:本申请提供了一种压力传感器及包含其的压力分析仪,属于传感器技术领域。压力传感器包括刚性层和弹性层;所述刚性层包括光源和超透镜;所述超透镜设置在所述光源的发光侧;所述弹性层包括探测器和换能器;所述探测器设置于所述超透镜背离所述光源的一侧,且探测器的受光面朝向所述超透镜;所述换能器的一端连接所述超透镜,所述换能器的另一端连接所述探测器;所述换能器通过弹性形变改变所述探测器和所述超透镜的间距。本申请实施例提供的压力传感器通过测量光斑变化避免了测量电阻变化时的误差,提高了压力传感器的灵敏度和响应速度。

主权项:1.一种压力传感器,其特征在于,所述压力传感器包括刚性层10和弹性层20;所述刚性层10包括光源110和超透镜120;所述超透镜120设置在所述光源110的发光侧;所述弹性层20包括探测器210和换能器220;所述探测器210设置于所述超透镜120背离所述光源110的一侧,且探测器210的受光面朝向所述超透镜120;所述换能器220的一端连接所述超透镜120,所述换能器220的另一端连接所述探测器210;所述换能器220通过弹性形变改变所述探测器210和所述超透镜120的间距。

全文数据:

权利要求:

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