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申请/专利权人：亚新半导体科技(无锡)有限公司
申请日：2023-08-07
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149939U
主分类号：H01J37/32
分类号：H01J37/32;H01J37/20;H01L21/683;C23F1/08
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型公开了一种防腐蚀静电吸盘，包括基盘，所述基盘的外侧固定连接有第一涂层，所述基盘的上表面固定连接有薄膜电极，薄膜电极的上表面固定连接有第二涂层，所述基盘的底部开设有多个安装孔，所述安装孔内插接有固定销，且固定销与薄膜电极相固定，所述基盘的底部通过螺栓固定有安装座，所述安装座的内部开设有避位孔。本实用新型不仅能够使装置有效提高静电吸盘的耐等离子体侵蚀性能、结构稳定性及使用寿命，同时能够通过固定销使基盘与薄膜电极之间连接的更加牢固，还能够通过在基盘上开设安装槽，使薄膜电极镶嵌在安装槽内部，从而使基盘对薄膜电极进行一定的防护。
主权项：1.一种防腐蚀静电吸盘，包括基盘1，其特征在于，所述基盘1的外侧固定连接有第一涂层2，所述基盘1的上表面固定连接有薄膜电极8，薄膜电极8的上表面固定连接有第二涂层7，所述第一涂层2和第二涂层7的材料选自陶瓷或IIIB族金属化合物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 亚新半导体科技(无锡)有限公司 一种防腐蚀静电吸盘
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